半導(dǎo)體制造Chiller設(shè)備如何通過(guò)寬域控溫保障工藝穩(wěn)定性
143在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,從晶圓蝕刻到芯片封裝測(cè)試,各類(lèi)工藝對(duì)溫度環(huán)境有著嚴(yán)苛且差異化的要求。半導(dǎo)體Chiller設(shè)備作為溫度控制的核心控溫裝置之一,通過(guò)多樣化的技術(shù)設(shè)計(jì)與靈活的調(diào)節(jié)能力,為不同工藝場(chǎng)景提供穩(wěn)定的溫度支持。
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冷凍機(jī)-工業(yè)冷凍機(jī)-高低溫一體機(jī)










