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帕爾貼Chiller













帕爾貼Chiller















適用范圍




冠亞恒溫LNEYA 帕爾貼熱電制冷器CHILLER溫度范圍從-20到90℃，專為半導(dǎo)體行業(yè)度身定制；


基于經(jīng)過實踐驗證的帕爾貼熱傳導(dǎo)原理，帕爾貼溫度控制系統(tǒng)能夠為等離子刻蝕應(yīng)用提供可重復(fù)性的溫度控制；


對于靜電卡盤(ESC)動態(tài)的溫度控制，使得其能夠應(yīng)用于所有類型的刻蝕工藝；


快速和準(zhǔn)確的溫度控制，能夠滿足任何嚴(yán)苛的工藝要求；


低能耗，空間占地小，同時還能夠穩(wěn)定的控制溫度。












  全國服務(wù)熱線 400-100-3163











































產(chǎn)品參數(shù)





Product Parameter











LNEYA 帕爾貼熱電制冷器Chiller有五款款型號可選，為晶圓蝕刻工藝提供可靠和精確的溫度控制


    

  • 高可靠性和低使用成本；工業(yè)空間占用率小；極低的導(dǎo)熱液填充量；
    • 

  • 低能耗，沒有壓縮機和制冷劑的系統(tǒng)，同時只有在有負載時輸出，大幅度降低能耗；
    • 

  • 制熱、直冷時，冷熱部件沒有與導(dǎo)熱液直接接觸；動態(tài)控溫，精準(zhǔn)控制過程溫度，快速溫度響應(yīng)；
    • 

  • 溫度漂移保護功能使得刻蝕的輪廓更加穩(wěn)定；改善Wafer-Wafer的穩(wěn)定性；模塊化部件使得維修更加方便；使用全氟液體。
    • 







型號
TEC-1200W
TEC-2500W
TEC-4500W




溫度范圍
-20℃~90℃




控溫精度
±0.1℃




制冷能力
20℃
1200W
2450W
4500W




10℃
900W
1925W
3500W




0℃
600W
1400W
2600W




?-10℃
350W
875W
1600W




?-20℃
80W
350W
700W




制熱能力
＞3000W
＞6000W
＞12000W




泵類型
直流磁力泵




壓力（bar）
≤4




流量
15L/min at 2bar




流體
Galden HT135




冷卻水溫度
DI＜20℃




冷卻水流量
≥12L/min
≥20L/min
≥32L/min




CDA開啟溫度
＜30℃




CDA壓力
0.5-0.8bar




CDA流量
2-3m3/h




CDA露點溫度
≤30℃




電源電壓
AC208V，三相電壓



























行業(yè)應(yīng)用





APPLICATION































半導(dǎo)體FAB工藝過程控溫解決方案









半導(dǎo)體制造是一個對環(huán)境要求極高的過程，許多工藝步驟對溫度非常敏感。





精確的溫度控制能夠確保沉積的薄膜厚度均勻、成分準(zhǔn)確，從而提高芯片的性能和良率。











































半導(dǎo)體封測工藝過程控溫解決方案









半導(dǎo)體封測工藝是半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測試、芯片封裝和封裝后測試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性，還需要對溫度進行嚴(yán)格控制，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。