產(chǎn)品中心
Product Center

全氟聚醚油CLKDOC138

產(chǎn)品簡介

全氟聚醚油常溫下為無色透明的油狀液體，耐高溫、耐化學(xué)腐蝕、抗氧化、抗輻射，主要用作潤滑油、真空泵油，由于具有高的穩(wěn)定性、安全性，特別是在尤為苛刻條件下工作時所表現(xiàn)的高度可靠性，因此，沒有任何一種工作介質(zhì)能在如此嚴酷的環(huán)境下與全氟聚醚油相媲美。

冠亞高精度水冷機氟化液CLKDOC78

產(chǎn)品簡介

氫氟醚是由氫、氟、氧和碳原子構(gòu)成的化合物，具有醚結(jié)構(gòu)，臭氧消耗潛能值ODP為零，全球暖化潛勢系數(shù)GWP低，且大氣停留時間很短，被認為是CFCs 理想替代品。除優(yōu)良的環(huán)境性質(zhì)外，氫氟醚還具有熱穩(wěn)定性和化學(xué)穩(wěn)定性、適度的溶解性、毒性低、無腐蝕性、不燃、不產(chǎn)生煙塵、材料兼容性好等特點，易于貯藏和運輸，被廣泛應(yīng)用于醫(yī)療、電子、金屬、精
密器械、光學(xué)鏡片、通信及航空航天等眾多領(lǐng)域。
氫氟醚CLKDOC78作為美國環(huán)境保護部（EPA）確定的氟利昂替代物清單（SNAP）清單中的清潔劑和冷媒，且已被EPA排除在揮發(fā)性有機化合物（VOC）之列。可用于儀器、電子、半導(dǎo)體、醫(yī)療設(shè)備、航空航天等制造行業(yè)。

雙通道系列 Dual Channel Chiller

產(chǎn)品簡介

FLTZ系列雙通道Chillers主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），顯著提升系統(tǒng)的響應(yīng)速度、控制精度和穩(wěn)定性。

每個通道具備單獨的溫度范圍、冷卻加熱能力、導(dǎo)熱介質(zhì)流量等，采用獨立的兩套系統(tǒng)，根據(jù)所需的溫度范圍選擇采用蒸汽壓縮制冷，或者采用ETCU無壓縮機換熱系統(tǒng)，系統(tǒng)可通用膨脹罐、冷凝器、冷卻水系統(tǒng)等，可以有效減少設(shè)備尺寸，減少操作步驟。

加載情況下控溫精度可達士0.1℃，可在-45℃~+90℃之間任意切換，具有良好的溫度跟隨性。

單通道系列 Single Channel Chiller

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FLTZ系列單通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。
Chillers的排吸氣溫度（壓力）、冷凝溫度、冷卻水溫度（壓力）、進出液體（氣體）溫度（壓力）、用電功率、各部件電流、電壓、水箱液位等重要信息均通過傳感器接入控制系統(tǒng)進行全面管理監(jiān)控記錄。

加載情況下控溫精度高，可在-100℃~+90℃之間任意切換，具有良好的溫度跟隨性；先進的低溫制冷技術(shù)，支持-100℃~ -80℃超低溫控溫。

三通道系列 Triple Channel Chiller

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FLTZ系列三通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，系統(tǒng)支持三個通道獨立控溫，每個通道有獨立的溫度范圍、冷卻加熱能力、導(dǎo)熱介質(zhì)流量等。

公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度，加載情況下控溫精度可達±0.1C，可在-20℃~+100℃之間任意切換，具有良好的溫度跟隨性。

面板系列Panel Chiller

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面板系列Chiller應(yīng)?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等，支持?流量?負載，確保極端?況下持續(xù)穩(wěn)定運?；支持冷卻?動態(tài)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可根據(jù)環(huán)境溫度與設(shè)備熱負荷，實時調(diào)節(jié)?溫。
采用變頻智能節(jié)能控制，減少?效能耗；全?動補液與?質(zhì)管理，缺液時?動補液；符合三通道?藝設(shè)計要求，確保信號/流體的獨?傳輸與精準控制。

帕爾貼Chiller

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冠亞恒溫LNEYA 帕爾貼熱電制冷器CHILLER溫度范圍從-20到90℃，專為半導(dǎo)體行業(yè)度身定制；

基于經(jīng)過實踐驗證的帕爾貼熱傳導(dǎo)原理，帕爾貼溫度控制系統(tǒng)能夠為等離子刻蝕應(yīng)用提供可重復(fù)性的溫度控制；

對于靜電卡盤(ESC)動態(tài)的溫度控制，使得其能夠應(yīng)用于所有類型的刻蝕工藝；

快速和準確的溫度控制，能夠滿足任何嚴苛的工藝要求；

低能耗，空間占地小，同時還能夠穩(wěn)定的控制溫度。

負壓型控溫機組

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負壓型控溫系統(tǒng)通過負壓環(huán)境下的流體循環(huán)實現(xiàn)精準溫度控制，原理：通過負壓發(fā)?器驅(qū)動導(dǎo)熱介質(zhì)（?/油）循環(huán)，避免泄漏?險，適?于各種類型板卡冷卻。

核?技術(shù)與優(yōu)勢

防泄漏設(shè)計：系統(tǒng)運?時管路處于負壓狀態(tài)，即使管道破裂也不會泄漏?溫介質(zhì)，安全性?。

?效節(jié)能：全密閉循環(huán)，閉式循環(huán)，減少熱能損耗。

精準控溫：采?PID算法或PLC控制，實現(xiàn)溫度波動≤±0.3℃，適?于精密制造場景。

多場景適配：?持純?、氟化液、??醇?溶液等不同介質(zhì)，控溫范圍從常溫到80度

FLTZH雙通道高溫Chiller

產(chǎn)品簡介

冠亞恒溫LNEYA雙通道?溫控溫的Chiller，可以?來滿?半導(dǎo)體?溫測試需求，介質(zhì)溫度最?可達250℃，以特殊的?藝?式，保證系統(tǒng)?溫?況下的控溫精度。

ETCU換熱控溫單元

產(chǎn)品簡介

ETCU換熱控溫單元冷卻?溫度范圍：+5℃?+90℃，控溫精度±0.05℃；系統(tǒng)?壓縮機，通過換熱降溫；?持?標定制，?持PC遠程控制；采?西??/霍尼?爾調(diào)節(jié)閥控制冷卻?流量；最?循環(huán)量時，控溫溫度與冷卻?溫度溫差15°C。