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單通道系列 Single Channel Chiller

單通道系列 Single Channel Chiller

適用范圍

FLTZ系列單通道Chillers主要應用與半導體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制,公司在系統(tǒng)中應用多種算法(PID、前饋PID、無模型自建樹算法),實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應、較高的控制精度。
Chillers的排吸氣溫度(壓力)、冷凝溫度、冷卻水溫度(壓力)、進出液體(氣體)溫度(壓力)、用電功率、各部件電流、電壓、水箱液位等重要信息均通過傳感器接入控制系統(tǒng)進行全面管理監(jiān)控記錄。

加載情況下控溫精度高,可在-100℃~+90℃之間任意切換,具有良好的溫度跟隨性;先進的低溫制冷技術(shù),支持-100℃~ -80℃超低溫控溫。

全國服務熱線 400-100-3163

FLTZ? 5℃~90℃

型號 FLTZ-002
FLTZ-002W
FLTZ-003
FLTZ-003W
FLTZ-004
FLTZ-004W
FLTZ-006
FLTZ-006W
FLTZ-008
FLTZ-008W
FLTZ-010
FLTZ-010W
FLTZ-015
FLTZ-015W
溫度范圍 5℃~90℃
控溫精度 ±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設備)
制冷量at10℃ 6kW 8kW 10kW 15kW 20kW 25kW 40kW
內(nèi)循環(huán)液容積 4L 5L 6L 8L 10L 12L 20L
膨脹罐容積 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
制冷劑 R410A
載冷劑 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、純凈水等(純凈水溫度需要控制10℃以上)
進出接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 Rc1
冷卻水口 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc1 Rc1 Rc1 Rc1 1/8
冷卻水流量at20℃ 1.5m3/h 2m3/h 2.5m3/h 4m3/h 4.5m3/h 5.6m3/h 9m3/h
?藝過程溫度控制 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標溫度(動態(tài)控溫)
外形尺寸 cm 95*38*106 95*38*106 950*380*106 98*43*140 98*43*140 108*60*150 108*60*150

 

FLTZ? -25℃~+90℃

型號 FLTZ-202
FLTZ-202W
FLTZ-203
FLTZ-203W
FLTZ-204
FLTZ-204W
FLTZ-206
FLTZ-206W
FLTZ-208
FLTZ-208W
FLTZ-210
FLTZ-210W
FLTZ-215
FLTZ-215W
溫度范圍 ?-25℃~90℃
控溫精度 ±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設備)
流量 MAX 10~25L/min 15~45L/min 25~75L/min
制冷量at-15℃ 2kW 3kW 3.8kW 6kW 7.6kW 10kW 15kW
內(nèi)循環(huán)液容積 4L 5L 6L 8L 10L 12L 20L
膨脹罐容積 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
制冷劑 R404A
載冷劑 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
進出接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 Rc1
冷卻水接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 Rc1 Rc1 1/8
冷卻水流量at20℃ 1.2m3/H 1.6m3/H 2.6m3/H 3.6m3/H 5.5m3/H 7m3/H 10.2m3/H
?藝過程溫度控制 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標溫度(動態(tài)控溫)
外形尺寸 cm 95*38*106 95*38*106 95*38*106 98*43*140 98*43*140 108*60*150 108*60*150

 

FLTZ? -45℃~+90℃

型號 FLTZ-402
FLTZ-402W
FLTZ-403
FLTZ-403W
FLTZ-404
FLTZ-404W
FLTZ-406
FLTZ-406W
FLTZ-408
FLTZ-408W
FLTZ-410
FLTZ-410W
FLTZ-415
FLTZ-415W
溫度范圍 ?-45℃~90℃
控溫精度 ±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設備)
流量/壓力 MAX 10~25L/min? 5bar max 15~45L/min 5bar max 25~75L/min 5bar max
制熱 采用壓縮機制熱,防止冷凝器結(jié)霜技術(shù)
制冷量at-35℃ 1kW 1.4kW 1.8kW 2.5kW 3.3kW 5kW 8kW
內(nèi)循環(huán)液容積 4L 5L 6L 8L 10L 12L 20L
膨脹罐容積 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
制冷劑 R404A
載冷劑 硅油、氟化液、乙醇水溶液等
進出接口尺寸 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 Rc1
冷卻水接口 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 Rc1 Rc1 Rc1 1/8
冷卻水流量at20℃ 1.5m3/H 2.4m3/H 3.5m3/H 5m3/H 5.5m3/H 6m3/H 8m3/H
?藝過程溫度控制 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標溫度(動態(tài)控溫)
外形尺寸 cm 95*38*106 95*38*106 95*38*106 98*43*140 98*43*140 108*50*150 108*50*150

 

FLTZ? -80℃~+90℃

型號 FLTZ-803W FLTZ-805W FLTZ-806W FLTZ-808W FLTZ-810W
溫度范圍 ?-80℃~+90℃
控溫精度 ±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設備)
流量/壓力 MAX 7~25L/min? 5bar 12~45L/min 6bar
制冷量at-70℃ 0.6kW 1kW 1.5kW 2kW 3kW
加熱功率 2kW 2kW 2kW 3.5kW 3.5kW
內(nèi)循環(huán)液容積 4L 5L 6L 8L 10L
膨脹罐容積 10L 10L 15L 15L 20L
導熱介質(zhì) 氟化液
進出接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4
冷卻水接口 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 Rc1
冷卻水a(chǎn)t20℃ 1.8m3/h 2.5m3/h 3m3/h 5m3/h 6m3/h
斷路器 25A 25A 32A 40A 50A
?藝過程溫度控制 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標溫度(動態(tài)控溫)

 

FLTZ? -100℃~+90℃

型號 FLTZ-1002W FLTZ-1004W
溫度范圍 ?-100℃~+90℃
控溫精度 ±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設備)
流量 MAX 7~25L/min 12~45L/min
制冷量at-90℃ 1.5kW 3kW
加熱功率 3.5kW 5.5kW
內(nèi)循環(huán)液容積 5L 8L
膨脹罐容積 10L 15L
導熱介質(zhì) 氟化液
導熱介質(zhì)接口 Rc3/4 Rc3/4
冷卻水接口 Rc3/4 Rc1
冷卻水a(chǎn)t20℃ 50L/min 2bar~7bar 100L/min 2bar~7bar
斷路器 32A 63A
?藝過程溫度控制 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標溫度(動態(tài)控溫)

 

型號 FLTZ-001S FLTZ-002S
FLTZ-002WS
FLTZ-003S
FLTZ-003WS
FLTZ-004S
FLTZ-004WS
FLTZ-006S
FLTZ-006WS
?FLTZ-008WS FLTZ-010WS
溫度范圍 15℃~25℃
控溫精度 ±0.005℃? 設備出口溫度控制精度
流量 7L/min 3bar 15L/min? at 4bar 30L/min at 4bar 75L/min? at? 4bar
制熱 采用壓縮機制熱,防止冷凝器結(jié)霜技術(shù)
制冷量@20℃ 3kW 7kW 10.5kW 14kW 21kW 28kW ?35kW
液體容積 8L 15L 20L 30L 50L 60L 80L
制冷劑 R1234fa???? (ODP=0?? GWP=4)
載冷劑 純凈水
控制器 PLC,模糊PID控制算法,具備串級控制算法
溫度控制 導熱介質(zhì)出口溫度控制模式 pt100
外接溫度傳感器:(PT100或4~20mA或通信給定)控制模式(串級控制)
通信協(xié)議 以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議
RS485接口 modbus RTU協(xié)議
設備內(nèi)部溫度反饋 設備導熱介質(zhì)出口溫度、介質(zhì)進口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、壓縮機排吸氣溫度、冷卻水溫度(水冷設備有)
系統(tǒng)壓力 制冷系統(tǒng)壓力采集高低壓壓力傳感器
循環(huán)系統(tǒng)壓力采集進出口位置采用壓力傳感器
循環(huán)泵 磁力無機械密封循環(huán)泵
蒸發(fā)器 板式換熱器
冷凝器 微通道冷凝器(風冷)
板式換熱器(水冷),特別注意:需要使用清潔廠務水
制冷節(jié)流 電子膨脹閥
操作面板 7英寸彩色觸摸屏,溫度曲線顯示\EXCEL 數(shù)據(jù)導出
安全防護 具有自我診斷功能;相序斷相保護器、冷凍機過載保護;壓力保護,過載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能。
系統(tǒng)撿漏 制冷系統(tǒng)100%氦檢出廠? 循環(huán)系統(tǒng)100%氦檢出廠
進出接口尺寸 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 Rc1
冷卻水接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 Rc1
外殼 冷軋板噴塑RAL7035


所有設備額定測試條件:?球溫度:20℃;濕球溫度:16℃。進?溫度:20℃;出?溫度:25℃。

行業(yè)應用

半導體FAB工藝過程控溫解決方案

半導體制造是一個對環(huán)境要求極高的過程,許多工藝步驟對溫度非常敏感。

精確的溫度控制能夠確保沉積的薄膜厚度均勻、成分準確,從而提高芯片的性能和良率。

半導體封測工藝過程控溫解決方案

半導體封測工藝是半導體生產(chǎn)流程中的關鍵環(huán)節(jié),包括晶圓測試、芯片封裝和封裝后測試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性,還需要對溫度進行嚴格控制,以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。