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Chiller冷熱雙路控溫機組

Chiller冷熱雙路控溫機組

適用范圍

?于120℃?溫供熱?燥,另?側(cè)25℃冷卻捕集?途,輕松搭建由(夾套罐體+冷凝器+負壓系統(tǒng))構(gòu)建廢液回收系統(tǒng)?于廢液回收升華控溫,另?側(cè)25℃冷凝捕集整體能效優(yōu)于4.5。

全國服務(wù)熱線 400-100-3163

型號 LTH-25
溫度范圍 熱側(cè) 80℃~125℃ 冷側(cè) -15℃~30℃
控溫精度 ±0.5℃
制熱量 ?60kW @120℃ 35kW@10℃
控制器 可編程PLC
變頻器 ABB變頻器
壓縮機 渦旋壓縮機
輸入/顯示 7寸彩色觸摸屏/PLC控制器
通信 Modbus RTU協(xié)議RS485接口 、以太網(wǎng)TCP/IP協(xié)議
換熱器 板式換熱器
系統(tǒng)介質(zhì) 乙二醇水溶液
接口尺寸 DN40 PN16
安全保護 具有自我診斷功能;冷凍機過載保護;高低壓保護,過載繼電器、熱保護裝置、排吸氣溫度保護、傳感器故障保護等安全保障功能.。
電源 380V 50HZ?? 斷路器63A

行業(yè)應(yīng)用

半導體FAB工藝過程控溫解決方案

半導體制造是一個對環(huán)境要求極高的過程,許多工藝步驟對溫度非常敏感。

精確的溫度控制能夠確保沉積的薄膜厚度均勻、成分準確,從而提高芯片的性能和良率。

半導體封測工藝過程控溫解決方案

半導體封測工藝是半導體生產(chǎn)流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié),包括晶圓測試、芯片封裝和封裝后測試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性,還需要對溫度進行嚴格控制,以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。