真空控溫卡盤Chuck

適用范圍

冠亞恒溫LNEYA真空控溫卡盤Chuck提供8寸卡盤、12寸卡盤以及非標定制方形冷板，支持-70~+200℃寬溫度范圍，也可以定制各種其他溫度范圍，內(nèi)置多個溫度傳感器，多區(qū)控溫，準確FID調(diào)節(jié)控溫；支持直冷、液冷、?冷；

全國服務(wù)熱線 400-100-3163

產(chǎn)品特點

Product Features

產(chǎn)品參數(shù)

Product Parameter

溫度范圍	-70℃~200℃（可以定制各種溫度范圍）
溫度均勻性	土0.5℃
加熱速率	-55℃至+25℃：12 分鐘 -40℃至+25℃：10 分鐘 +25℃至+150℃：20 分鐘 +25℃至+200℃：28 分鐘 +25℃至+300℃：40 分鐘
冷卻速率	+150℃至+25℃：25 分鐘 +200℃至+25℃：30 分鐘 +300℃至+25℃：40 分鐘 +25℃至0℃：15 分鐘 +25℃至-40℃：35 分鐘 +25℃至-55℃：65 分鐘
冷卻方式	直冷系統(tǒng)/液冷系統(tǒng)/氣冷系統(tǒng)
控溫方式	內(nèi)置多個溫度傳感器，多區(qū)控溫，精確FII調(diào)節(jié)控溫
晶圓載板	鍍鎳(金/非導電)，與卡盤柔性連接，方便更換，載板平面度3μm≤10μm
晶圓吸附類型	真空吸附
卡盤尺寸	φ330*58mm
電源220V 50HZ	200~230V AC50/60HZ 16A max
通訊方式	ModbusRTU協(xié)議,RS485接口，選配CAN通信總線、以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議