Chiller在半導(dǎo)體制程工藝中的應(yīng)用場景以及操作選購指南
269涉及-100~90°C控溫,滿足半導(dǎo)體各個工藝環(huán)節(jié)的控溫需求,采用獨立的兩套系統(tǒng)
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涉及-100~90°C控溫,滿足半導(dǎo)體各個工藝環(huán)節(jié)的控溫需求,采用獨立的兩套系統(tǒng)
查看全文-110~30度制冷,精度±0.3°C,根據(jù)工藝及溫度選擇不同介質(zhì),介質(zhì)為純水DI、乙二醇水溶液、乙醇、導(dǎo)熱油、二氯甲烷、冰河冷媒等
查看全文冷熱循環(huán)裝置通過準確控溫技術(shù),廣泛應(yīng)用于化工、制藥、新材料等領(lǐng)域的反應(yīng)器溫度控制,其核心價值在于保障反應(yīng)過程的穩(wěn)定性與安全性。
查看全文適用于高壓反應(yīng)釜、雙層玻璃反應(yīng)釜等,通過夾套間接控溫,準確調(diào)節(jié)反應(yīng)過程中的放熱或吸熱,防止溫度失控導(dǎo)致產(chǎn)物變質(zhì)或安全事故。
查看全文導(dǎo)熱油冷熱一體機在反應(yīng)器控溫中通過導(dǎo)熱油作為傳熱介質(zhì),結(jié)合加熱與制冷功能,實現(xiàn)反應(yīng)器溫度的準確、穩(wěn)定控制,尤其適用于高溫、寬溫區(qū)及連續(xù)生產(chǎn)的工藝場景。
查看全文循環(huán)風控溫裝置(如高低溫循環(huán)一體機、高低溫試驗箱等)在半導(dǎo)體設(shè)備的高低溫測試中通過準確的溫度控制和環(huán)境模擬,保障了半導(dǎo)體產(chǎn)品的性能驗證、可靠性評估及工藝優(yōu)化
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