三通道直冷機的工作原理、智能PID調(diào)節(jié)及在半導體、化工與新能源測試中的多溫區(qū)控制解決方案
137直冷式制冷技術因其直接換熱的原理,在多個工業(yè)領域展現(xiàn)出較高的適用性。其中,三通道直冷機通過多回路控溫設計,能夠同時滿足不同溫區(qū)的制冷需求,在半導體制造、化工生產(chǎn)、制藥及大型服務器冷卻等行業(yè)得到應用。
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直冷式制冷技術因其直接換熱的原理,在多個工業(yè)領域展現(xiàn)出較高的適用性。其中,三通道直冷機通過多回路控溫設計,能夠同時滿足不同溫區(qū)的制冷需求,在半導體制造、化工生產(chǎn)、制藥及大型服務器冷卻等行業(yè)得到應用。
查看全文半導體制造工藝對溫度控制的準確性有著嚴苛的要求,特別是在刻蝕環(huán)節(jié),溫度波動會直接影響刻蝕速率、選擇比和線寬精度??涛g直冷機etch chiller作為一種直接將制冷劑輸送至目標控溫元件的設備,在半導體刻蝕領應用廣泛。
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