Chiller低溫復(fù)疊制冷系列

半導(dǎo)體chiller 半導(dǎo)體溫控裝置Chiller

溫控精度±0.1℃
溫度范圍-80℃~+80℃
內(nèi)循環(huán)液容積4L~10L
膨脹罐容積10L~20L
電源 380V 50HZ

半導(dǎo)體投入大，制造工序多，為了提高產(chǎn)品的良品率、確保收益，需要在半導(dǎo)體的每個環(huán)節(jié)進(jìn)行質(zhì)量把控，影響產(chǎn)品質(zhì)量的其中一個重要因素就是溫度，溫度的穩(wěn)定性及精準(zhǔn)度非常重要，為獲得穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品保駕護航。

冠亞循環(huán)冷卻器和水- 水熱交換器為從前端到后端的整體半導(dǎo)體工藝流程提供支持。通過擁有超過16年的溫度控制經(jīng)驗以及與各大zhi名主設(shè)備機臺直接配套經(jīng)驗，我們?yōu)榘雽?dǎo)體客戶提供標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品及用戶定制產(chǎn)品、溫度控制技術(shù)的專業(yè)知識以及全球化服務(wù)，有助于滿足您從鑄錠到測試的半導(dǎo)體工藝流程中苛刻的溫度要求。

型號	FLTZ-803W	FLTZ-805W	FLTZ-806W	FLTZ-808W	FLTZ-810W
溫度范圍	?-80℃～+90℃
控溫精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
流量/壓力 MAX	7～25L/min? 5bar		12～45L/min 6bar
制冷量at-70℃	0.6kW	1kW	1.5kW	2kW	3kW
加熱功率	2kW	2kW	2kW	3.5kW	3.5kW
內(nèi)循環(huán)液容積	4L	5L	6L	8L	10L
膨脹罐容積	10L	10L	15L	15L	20L
導(dǎo)熱介質(zhì)	氟化液
進(jìn)出接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4
冷卻水接口	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc1	Rc1
冷卻水a(chǎn)t20℃	1.8m3/H	2.5m3/H	3m3/H	5m3/H	6m3/H
斷路器	25A	25A	32A	40A	50A
?藝過程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度（動態(tài)控溫）

型號	FLTZ-1002W	FLTZ-1004W
溫度范圍	-100℃～+90℃
控溫精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
流量 MAX	7～25L/min	12～45L/min
制冷量at-90℃	1.5kW	3kW
加熱功率	3.5kW	5.5kW
內(nèi)循環(huán)液容積	5L	8L
膨脹罐容積	10L	15L
導(dǎo)熱介質(zhì)	氟化液
導(dǎo)熱介質(zhì)接口	Rc3/4	Rc3/4
冷卻水接口	Rc3/4	Rc1
冷卻水a(chǎn)t20℃	50L/min 2bar~7bar	100L/min 2bar~7bar
斷路器	32A	63A
?藝過程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度（動態(tài)控溫）