高精度復疊制冷快速響應與面板冷水機在半導體工藝中的應用

2025年7月17日 146

在半導體產業(yè)的工藝制造環(huán)節(jié)中，溫度控制的穩(wěn)定性直接影響芯片的性能與良率。其中，面板冷水機作為溫控設備之一，通過準確的流體溫度調節(jié)，為半導體制造過程中的各類工藝提供穩(wěn)定的環(huán)境支撐，成為現(xiàn)代半導體生產鏈中控溫環(huán)節(jié)。

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