FLTZ 5℃~90℃

溫度范圍5℃~90℃
內(nèi)循環(huán)液容積4L~20L
膨脹罐容積10L~35L
制冷劑R410A
載冷劑硅油、氟化液、乙二醇水溶液、純凈水等
控溫精度±0.1℃

半導(dǎo)體溫控裝置Chiller 主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中及測(cè)試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制，產(chǎn)品有流體氟化液控溫（最低-100度)、氣體冷熱快速溫變、快速溫變卡盤、低溫氣體制冷機(jī)（-120度）、直冷型制冷機(jī)組（-150度）等。公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無(wú)模型自建樹算法），實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。

型號(hào)	FLTZ-002 FLTZ-002W	FLTZ-003 FLTZ-003W	FLTZ-004 FLTZ-004W	FLTZ-006 FLTZ-006W	FLTZ-008 FLTZ-008W	FLTZ-010 FLTZ-010W	FLTZ-015 FLTZ-015W
溫度范圍	5℃～90℃
控溫精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
制冷量at10℃	6kW	8kW	10kW	15kW	20kW	25kW	40kW
內(nèi)循環(huán)液容積	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
膨脹罐容積	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
制冷劑	R410A
載冷劑	硅油、氟化液、乙二醇水溶液、純凈水等（純凈水溫度需要控制10℃以上）
進(jìn)出接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc1	Rc1
冷卻水口	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc1	Rc1	Rc1	Rc1 1/8
冷卻水流量at20℃	1.5m3/h	2m3/h	2.5m3/h	4m3/h	4.5m3/h	5.6m3/h	9m3/h
?藝過(guò)程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級(jí)算法相結(jié)合來(lái)控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度（動(dòng)態(tài)控溫）
外形尺寸 cm	9740108	9740108	9740108	10543140	10543140	10860150	10860150