帕爾貼熱電型chiller

TEC熱電型chiller

LNEYA 帕爾貼熱電的CHILLER溫度范圍從-20到90℃,專為半導(dǎo)體行業(yè)度身定制-20℃90℃快速和精確的溫度控制，能夠滿足任何嚴苛的工藝要求基于經(jīng)過實踐驗證的帕爾貼熱傳導(dǎo)原理，lneya帕爾貼溫度控制系統(tǒng)能夠為等離子刻蝕應(yīng)用提供可重復(fù)性的溫度控制。對于靜電卡盤(ESC)動態(tài)的溫度控制，使得其能夠應(yīng)用于所有類型的刻蝕工藝。高效節(jié)能，節(jié)省空間，同時還能夠穩(wěn)定的控制溫度

重要功能和優(yōu)勢
·高可靠性和低使用成本
·工業(yè)空間占用率小
·極低的導(dǎo)熱液填充量
·低能耗，沒有壓縮機和制冷劑的系統(tǒng)，同時只有在有負載時輸出，大幅度降低能耗
制熱、直冷時，冷熱部件沒有與導(dǎo)熱液直接接觸
·動態(tài)控溫，精準(zhǔn)控制過程溫度，快速溫度響應(yīng)
·溫度漂移保護功能使得刻蝕的輪廓更加穩(wěn)定
·改善Wafer-Wafer的穩(wěn)定性
·模塊化部件使得維修更加方便
·使用全氟液體

型號		TEC-1200W	TEC-2500W	TEC-4500W
溫度范圍		-20℃~90℃
控溫精度		±0.1℃
制冷能力	20℃	1200W	2450W	4500W
	10℃	900W	1925W	3500W
	0℃	600W	1400W	2600W
	-10℃	350W	875W	1600W
	-20℃	80W	350W	700W
制熱能力		＞3000W	＞6000W	＞12000W
泵類型		直流磁力泵
壓力（bar）		≤4
流量		15L/min at 2bar
流體		Galden HT135
冷卻水溫度		DI＜20℃
冷卻水流量		≥12L/min	≥20L/min	≥32L/min
CDA開啟溫度		＜30℃
CDA壓力		0.5-0.8bar
CDA流量		2-3m3/h
CDA露點溫度		≤30℃
電源電壓		AC208V,三相電壓