Chiller 換熱型 系統(tǒng)無(wú)壓縮機(jī)

半導(dǎo)體投入大，制造工序多，為了提高產(chǎn)品的良品率、確保收益，需要在半導(dǎo)體的每個(gè)環(huán)節(jié)進(jìn)行質(zhì)量把控，影響產(chǎn)品質(zhì)量的其中一個(gè)重要因素就是溫度，溫度的穩(wěn)定性及精準(zhǔn)度非常重要，為獲得穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品保駕護(hù)航。

冠亞循環(huán)冷卻器和水- 水熱交換器為從前端到后端的整體半導(dǎo)體工藝流程提供支持。通過(guò)擁有超過(guò)16年的溫度控制經(jīng)驗(yàn)以及與各大zhi名主設(shè)備機(jī)臺(tái)直接配套經(jīng)驗(yàn)，我們?yōu)榘雽?dǎo)體客戶提供標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品及用戶定制產(chǎn)品、溫度控制技術(shù)的專業(yè)知識(shí)以及全球化服務(wù)，有助于滿足您從鑄錠到測(cè)試的半導(dǎo)體工藝流程中苛刻的溫度要求。

型號(hào)	ETCU-005W	ETCU-008W	ETCU-015W	ETCU-030W
溫度范圍	冷卻水溫度?+5℃~90℃?±0.3℃
冷卻水溫度	7℃~30℃ 采用西門子/霍尼韋爾調(diào)節(jié)閥控制冷卻水流量
冷卻能力	5kw	8kw	15kw	30kw
?	測(cè)試條件：zui大循環(huán)量時(shí)，控溫溫度與冷卻水溫度溫差15℃
循環(huán)泵流量	7~20L/min 5bar	7~20L/min 5bar	15~40L/min 5bar	20~60L/min 5bar
儲(chǔ)罐容積	6L	8L	10L	15L
尺寸	480*750*390	480*750*390	480*750*390	480*750*500
電源	220V 50HZ/60hz?0.6kw		220V 50HZ/60hz1.3kw	220V 50HZ/60hz 1.6kw

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