
一、冷卻介質(zhì)的定期檢查與管理
冷卻介質(zhì)是冷卻水循環(huán)裝置實現(xiàn)熱交換的核心載體,其狀態(tài)直接影響換熱效率與系統(tǒng)安全性,需作為日常維護環(huán)節(jié)。
首先需定期檢查介質(zhì)液位與狀態(tài)。應觀察儲液罐內(nèi)介質(zhì)液位,確保液位處于設備規(guī)定的標準范圍內(nèi),當液位過低,需及時補充同類型、同規(guī)格的冷卻介質(zhì),避免因介質(zhì)不足導致循環(huán)泵空轉(zhuǎn)或換熱不充分;同時觀察介質(zhì)外觀,當出現(xiàn)渾濁、變色、異味或漂浮雜質(zhì),說明介質(zhì)已變質(zhì),需立即停機更換,更換前需清洗儲液罐與循環(huán)管路。其次要控制介質(zhì)的理化指標。需檢測介質(zhì)的pH值、電導率等關鍵指標,確保pH值維持在中性或設備要求的范圍,避免酸性或堿性過強腐蝕管路與部件;電導率過高,需更換部分介質(zhì)或添加專用調(diào)節(jié)劑,降低系統(tǒng)結(jié)垢與腐蝕風險。此外,根據(jù)介質(zhì)使用說明與設備工況,長期使用后其熱傳導性能也會下降,定期更換可保障換熱效率穩(wěn)定。
二、核心部件的檢查與維護
冷卻水循環(huán)裝置的核心部件是保障系統(tǒng)運行的關鍵,需定期檢查、清潔與保養(yǎng),預防部件故障導致系統(tǒng)停運。
循環(huán)泵作為介質(zhì)輸送動力源,需定期進行檢查。先查看泵體運行狀態(tài),聽運行聲音是否正常,當出現(xiàn)異常振動或聲音,可能是泵體軸承磨損或葉輪堵塞,需拆解泵體,清潔葉輪內(nèi)雜質(zhì),更換磨損軸承;其次檢查泵體密封件,當發(fā)現(xiàn)密封處滲漏介質(zhì),需及時更換密封墊或機械密封,防止介質(zhì)流失與空氣進入系統(tǒng)形成氣堵;此外,每季度需對泵體軸承添加專用潤滑油,確保轉(zhuǎn)動部件潤滑良好,減少機械磨損。
過濾器用于減少介質(zhì)中的雜質(zhì),防止管路與換熱器堵塞,需定期檢查并清潔。拆下過濾器濾芯,用壓縮空氣吹掃或清水沖洗,去除濾芯表面的雜質(zhì)與污垢;當濾芯出現(xiàn)破損或堵塞嚴重,需及時更換濾芯,避免雜質(zhì)繞過濾芯進入系統(tǒng)。
需檢查系統(tǒng)內(nèi)各類閥門的開關狀態(tài),確保閥門操作靈活,無卡滯現(xiàn)象;關閉閥門時觀察是否存在內(nèi)漏,可通過監(jiān)測管路溫度變化或介質(zhì)流量判斷,當存在內(nèi)漏需拆解閥門,研磨密封面或更換閥芯。此外,檢查管路連接部位,需緊固螺栓或更換密封墊片,避免介質(zhì)流失與外界空氣進入系統(tǒng)。
冷卻水循環(huán)裝置的日常維護是保障其穩(wěn)定運行的關鍵,需圍繞介質(zhì)、部件、清潔、參數(shù)、環(huán)境五個核心維度,建立常態(tài)化、系統(tǒng)化的維護機制。在實際運維中,還需結(jié)合裝置類型、使用場景與廠家建議,制定個性化維護方案,不斷優(yōu)化維護流程,提升設備運行可靠性。

FLTZ系列雙通道Chillers主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制,公司在系統(tǒng)中應用多種算法(PID、前饋PID、無模型自建樹算法),顯著提升系統(tǒng)的響應速度、控制精度和穩(wěn)定性。
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FLTZ系列單通道Chillers主要應用與半導體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制,公司在系統(tǒng)中應用多種算法(PID、前饋PID、無模型自建樹算法),實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應、較高的控制精度。
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FLTZ系列三通道Chillers主要應用與半導體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制,系統(tǒng)支持三個通道獨立控溫,每個通道有獨立的溫度范圍、冷卻加熱能力、導熱介質(zhì)流量等。
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適用范圍 測試的物件連接到一個測試平臺適配器上,部件內(nèi)部通過乙二醇水溶液來冷卻和加熱測試。測試部件需要經(jīng)歷一個特定的溫度變化曲線,并且記錄溫度的變化。溫度變化的范圍通常從-40到100度。(可擴展到150度)進行耐受性測試時,通常會循環(huán)進行。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter …
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適用范圍 測試的物件連接到一個測試平臺適配器上,部件內(nèi)部通過乙二醇水溶液來冷卻和加熱測試。測試部件需要經(jīng)歷一個特定的溫度變化曲線,并且記錄溫度的變化。溫度變化的范圍通常從-40到100度。(可擴展到150度)進行耐受性測試時,通常會循環(huán)進行。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter …
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適用范圍 采?變頻渦旋壓縮機,根據(jù)實際需求?動調(diào)整運轉(zhuǎn)速度,提供所需的制冷能?,與傳統(tǒng)的定頻壓縮機相?,顯著降低能源消耗,提?能效性能。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter KRYZ變頻系列 -40℃~+100℃ KRYZ變頻雙通道系列 所有設備額定測試條件:?球溫度:20℃;濕球溫度:16℃…
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面板系列Chiller應?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等,支持?流量?負載,確保極端?況下持續(xù)穩(wěn)定運?;支持冷卻?動態(tài)調(diào)節(jié)系統(tǒng),可根據(jù)環(huán)境溫度與設備熱負荷,實時調(diào)節(jié)?溫。
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冠亞恒溫LNEYA 帕爾貼熱電制冷器CHILLER溫度范圍從-20到90℃,專為半導體行業(yè)度身定制; 基于經(jīng)過實踐驗證的帕爾貼熱傳導原理,帕爾貼溫度控制系統(tǒng)能夠為等離子刻蝕應用提供可重復性的溫度控制;
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ETCU換熱控溫單元冷卻?溫度范圍:+5℃?+90℃,控溫精度±0.05℃;系統(tǒng)?壓縮機,通過換熱降溫;?持?標定制,?持PC遠程控制;采?西??/霍尼?爾調(diào)節(jié)閥控制冷卻?流量;最?循環(huán)量時,控溫溫度與冷卻?溫度溫差15°C。
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全氟聚醚油常溫下為無色透明的油狀液體,耐高溫、耐化學腐蝕、抗氧化、抗輻射,主要用作潤滑油、真空泵油,由于具有高的穩(wěn)定性、安全性,特別是在尤為 苛刻條件下工作時所表現(xiàn)的高度可靠性
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氫氟醚是由氫、氟、氧和碳原子構(gòu)成的化合物,具有醚結(jié)構(gòu),臭氧消耗潛能值ODP為零,全球暖化潛勢系數(shù)GWP低,且大氣停留時間很短,被認為是CFCs 理想替代品
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