
雙通道直冷機的核心原理在于將制冷系統中的制冷劑直接輸出至目標控制元件的換熱器進行換熱,從而實現對控制對象的快速降溫。相較于傳統的流體或氣體換熱方式,其換熱的能力通??捎兴嵘?,尤其適用于換熱面積小但換熱量大的場景。該設備采用雙系統設計,兩個單獨的制冷回路可分別針對不同測試工位進行溫度調控,每個通道均配備單獨的壓縮機、膨脹閥及溫度傳感器,確保溫控過程的單獨性與準確性。
在并行溫控優(yōu)勢方面,首先體現在溫度控制的同步性上。半導體封裝測試中,常需對同一批次的多個芯片或模塊進行相同或不同溫度條件的測試。雙通道直冷機可通過兩個通道同時輸出不同的目標溫度,如一個通道維持零下低溫環(huán)境,另一個通道保持常溫環(huán)境,且每個通道的控溫精度高,滿足不同測試場景的嚴苛要求。
其次,該設備具備快速響應能力。其采用的電子膨脹閥可根據實時溫度反饋迅速調節(jié)制冷劑流量,配合PLC控制器及模糊PID算法,能夠實現溫度的快速升降。在從常溫切換至低溫環(huán)境時,設備可在短時間內完成溫度過渡,且波動幅度控制在允許范圍內,縮短測試周期。
再者,雙通道設計具有方便的操作方式。操作員可通過彩色觸摸屏分別設定兩個通道的溫度、壓力及運行時間等參數,并實時監(jiān)控各通道的運行狀態(tài)。同時,設備支持以太網接口的TCP/IP協議,可接入工廠的中控系統實現遠程控制與數據記錄,便于批量測試的集中管理。
在應用實踐中,雙通道直冷機已廣泛用于半導體封裝后的高低溫沖擊測試、熱循環(huán)測試等環(huán)節(jié)。在芯片封裝測試廠中,該設備同時對兩個批次的芯片進行寬泛的溫度循環(huán)測試,每個通道單獨記錄溫度變化曲線,測試完成后可通過U盤導出Excel格式的數據,為產品可靠性分析提供準確依據,滿足了部分特殊芯片的苛刻環(huán)境測試需求。
設備的安全性能同樣值得關注。其配備了相序斷相保護、壓力保護及過載繼電器等多重安全裝置,當某一通道出現異常時,系統會自動切斷該通道的運行并發(fā)出警告信號,不影響另一通道的正常工作,確保測試過程的連續(xù)性與安全性。
雙通道直冷機通過并行溫控設計、換熱的能力及靈活的操作方式,在半導體封裝測試中展現出應用價值。其不僅提升了測試效率與數據準確性,也為半導體行業(yè)的高質量發(fā)展提供了可靠的溫控解決方案。

FLTZ系列雙通道Chillers主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制,公司在系統中應用多種算法(PID、前饋PID、無模型自建樹算法),顯著提升系統的響應速度、控制精度和穩(wěn)定性。
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FLTZ系列單通道Chillers主要應用與半導體生產過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制,公司在系統中應用多種算法(PID、前饋PID、無模型自建樹算法),實現系統快速響應、較高的控制精度。
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FLTZ系列三通道Chillers主要應用與半導體生產過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制,系統支持三個通道獨立控溫,每個通道有獨立的溫度范圍、冷卻加熱能力、導熱介質流量等。
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適用范圍 應?于將?體(?腐蝕)降溫使?:如?燥壓縮空?、氮?、氬?等常溫?體通?到LQ系列設備內部,出來的?體即可達到?標低溫溫度,供給需求測試的元件或換熱器中。 產品特點 Product Features 產品參數 Product Parameter 所有設備額定測試條件:?球溫度:20℃;濕球溫度:16℃。進?溫度:20℃;出…
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適用范圍 運?于半導體設備?低溫測試。電?設備?溫低溫恒溫測試冷熱源;獨?的制冷循環(huán)?機組;可連續(xù)?時間?作,?動除霜,除霜過程不影響庫溫; 模塊化設計,備?機替換容易(只要?臺備?機組即可);解決頻繁開關?,蒸發(fā)系統結霜問題;蒸發(fā)系統除霜過程不影響。構筑?套?低溫恒溫室變的簡單(根據提供的圖紙,像搭積??般拼接好箱體,連接好電和?,設…
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適用范圍 壓縮空?進??體快速溫變測試機,內置有?燥器,預先把?體?燥到露點溫度-70度以下,進?制冷加熱控溫輸出穩(wěn)定流量壓?恒溫的?體,對?標對象進?控溫(如各類控溫卡盤、腔體環(huán)境、熱承板、料梭、腔體、電?元件等),可根據遠程卡盤上的溫度傳感器進??藝過程控溫,?動調節(jié)輸出?體的溫度。 產品特點 Product Features …
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適用范圍 應?于傳感器、半導體制造、薄膜和包裝材料執(zhí)照、粉狀物料運輸、噴涂系統、?品?業(yè)、制藥?業(yè)等需要實現-80℃低露點?燥和清潔的分布式?源。 產品特點 Product Features 產品參數 Product Parameter 行業(yè)應用 APPLICATION 半導體封測工藝過程控溫解決方案 半導體封測工藝是…
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面板系列Chiller應?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等,支持?流量?負載,確保極端?況下持續(xù)穩(wěn)定運?;支持冷卻?動態(tài)調節(jié)系統,可根據環(huán)境溫度與設備熱負荷,實時調節(jié)?溫。
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一、熱力學原理與系統構成
刻蝕直冷機etch chiller的工作基礎建立在蒸氣壓縮制冷循環(huán)之上,但其技術實現路徑與傳統間接冷卻方式存在本質差異。制冷系統通過外界功實現熱量從低溫物體向高溫物體的轉移。直冷機的核心在于省卻了傳統冷卻系統中載冷劑這一中間傳熱介質,采用制冷劑直接蒸發(fā)吸熱的原理,在目標控溫元件內部完成相變換熱過程。
從系統構成來看,刻蝕直冷機etch chiller包含四大功能模塊:壓縮單元采用多級復疊技術,通常由谷輪渦旋壓縮機組成,負責將氣態(tài)制冷劑加壓至高溫高壓狀態(tài);冷凝單元通過風冷或水冷方式使制冷劑液化;膨脹機構采用電子膨脹閥實現制冷劑節(jié)流降壓;蒸發(fā)單元則直接集成在刻蝕設備的冷卻板內部。這種結構設計特別適合于半導體刻蝕設備中換熱面積有限但熱負荷較高的應用場景。
二、準確控溫機制分析
半導體刻蝕工藝通常要求溫度控制精度達到規(guī)定范圍以內,刻蝕直冷機etch chiller通過三項關鍵技術實現這一目標:在傳感器配置方面,系統在蒸發(fā)器進出口、壓縮機吸排氣端等多點布置PT100溫度傳感器和壓力變送器,實時監(jiān)測制冷劑狀態(tài)參數;熱力學設計方面,采用混合制冷劑,優(yōu)化蒸發(fā)溫度與刻蝕工藝需求的匹配度。
刻蝕直冷機etch chiller通過”高溫高壓制冷劑旁通回路”實現快速升溫功能,解決了傳統系統在變溫工況下響應滯后的問題。這種設計使系統在高溫運行狀態(tài)下仍能迅速切換至低溫模式,升降溫速率較間接冷卻系統有所提升,滿足了刻蝕工藝中對快速溫度切換的需求。
三、半導體刻蝕中的技術適配性
在干法刻蝕應用中,反應腔內的等離子體產生大量瞬時熱負荷,傳統水冷系統因熱容限制常出現溫度超調。
濕法刻蝕對溫度要求更嚴謹,微小的偏差可能導致刻蝕速率變化超過規(guī)定范圍內??涛g直冷機etch chiller的蒸發(fā)溫度閉環(huán)控制配合變頻泵調節(jié)冷媒流量,確保了槽液溫度的均勻性。特別在深硅刻蝕等長時間工藝中,系統內置的膨脹罐維持了制冷劑流量穩(wěn)定,避免了因熱負荷波動引起的刻蝕差異。
四、系統可靠性與維護特性
半導體制造對設備穩(wěn)定性的要求較為嚴格,刻蝕直冷機etch chiller從三個方面保障持續(xù)運行:在冗余設計上,關鍵部件如壓縮機、水泵采用并聯配置,支持在線切換;安全防護方面設置高壓保護、相序保護和漏液檢測等多重機制。
實際運行數據顯示,在連續(xù)工作條件下,刻蝕直冷機etch chiller配備的7英寸觸摸屏可記錄溫度曲線和警告信息,便于集成到半導體工廠的監(jiān)控系統。這種設計既滿足了晶圓廠對設備可追溯性的要求,也為預防性維護提供了數據支持。
刻蝕直冷機etch chiller憑借其直接換熱的原理優(yōu)勢,在半導體制造領域應用廣泛。從熱力學角度看,該系統規(guī)避了傳統冷卻方式中的傳熱中間環(huán)節(jié),實現了更快的熱響應速度和更高的溫度穩(wěn)定性,以滿足半導體工業(yè)不斷演進的生產需求。

FLTZ系列雙通道Chillers主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制,公司在系統中應用多種算法(PID、前饋PID、無模型自建樹算法),顯著提升系統的響應速度、控制精度和穩(wěn)定性。
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FLTZ系列單通道Chillers主要應用與半導體生產過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制,公司在系統中應用多種算法(PID、前饋PID、無模型自建樹算法),實現系統快速響應、較高的控制精度。
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一、雙通道冷水機的技術架構與工作原理
雙通道冷水機主要由加熱模塊與制冷模塊兩大部分構成,二者通過控制系統實現協同工作。加熱模塊通常采用管道式加熱方式,這種加熱方式能夠使熱量均勻分布,減少局部過熱現象,提高加熱效率。制冷模塊則多采用壓縮機制冷技術,通過制冷劑的循環(huán)相變來吸收熱量,實現溫度的降低。
在工作過程中,系統通過溫度傳感器實時監(jiān)測被測材料的溫度變化,并將數據傳輸至控制系統??刂葡到y根據預設的溫度參數和實時監(jiān)測數據,對加熱模塊和制冷模塊進行準確調節(jié)。當溫度低于設定值時,加熱模塊自動啟動,快速提升溫度;當溫度高于設定值時,制冷模塊開始工作,及時降低溫度,從而實現對材料溫度的準確控制。
二、雙通道冷水機在材料測試中的具體應用
1、高低溫環(huán)境下的材料性能測試
在工業(yè)制造、汽車制造等領域,材料常常需要在苛刻溫度環(huán)境下工作。雙通道冷水機能夠模擬寬泛溫度范圍,滿足不同材料在高低溫環(huán)境下的性能測試需求。
2、材料老化測試
材料在長期使用過程中會受到溫度變化的影響而發(fā)生老化。雙通道冷水機可以通過設定周期性的溫度變化程序,模擬材料在實際使用環(huán)境中的溫度波動,加速材料老化過程,從而縮短材料老化測試的時間。在老化測試中,系統按照一定的溫度循環(huán)程序運行,能夠快速評估橡膠的硬度、彈性等性能隨時間的變化情況。
3、復合材料界面性能測試
對于復合材料而言,界面性能是影響其整體性能的關鍵因素。雙通道冷水機可以在材料制備和測試過程中準確控制溫度,研究溫度對復合材料界面結合強度的影響。
三、雙通道冷水機的優(yōu)勢與特點
1、寬溫度范圍與高精度控制
該系統具有寬廣的溫度調節(jié)范圍,能夠覆蓋從低溫到高溫的多個溫度區(qū)間,滿足不同材料在各種溫度條件下的測試需求。同時,為材料測試提供了準確的溫度環(huán)境,確保測試結果的準確性和可靠性。
2、快速升降溫與穩(wěn)定保持
雙通道冷水機具備快速升降溫的能力,能夠在短時間內實現溫度的急劇變化。在溫度保持階段,系統能夠控制溫度波動,使溫度穩(wěn)定在設定值附近,為材料的性能測試提供了穩(wěn)定的環(huán)境。
3、靈活的程序編輯與數據記錄
系統支持靈活的程序編輯功能,用戶可以根據不同的測試需求,編制復雜的溫度變化程序,實現對溫度的準確控制和動態(tài)模擬。此外,系統還具有完善的數據記錄功能,能夠實時記錄溫度變化過程中的各項參數,為材料測試數據的分析和研究提供了豐富的素材。
雙通道冷水機的雙通道冷水機在材料測試領域為材料科學研究和工業(yè)生產提供了控溫的技術支持。隨著技術的不斷進步,該系統將在更多領域發(fā)揮重要作用,推動材料科學的發(fā)展和進步。

FLTZ系列雙通道Chillers主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制,公司在系統中應用多種算法(PID、前饋PID、無模型自建樹算法),顯著提升系統的響應速度、控制精度和穩(wěn)定性。
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一、日常運行狀態(tài)監(jiān)控
在雙通道直冷機的日常使用中,需密切關注各項運行參數。通過設備的顯示系統,實時查看溫度、壓力、流量等數據。溫度方面,要留意設備的工作溫度是否在規(guī)定范圍內,如部分型號設備溫度范圍,需確保實際運行溫度不超出該范圍。壓力參數也不容忽視,需監(jiān)測系統的吸氣壓力、排氣壓力等,像某些型號設備吸氣壓力控制在合理范圍內,要保證壓力值的穩(wěn)定。流量方面,關注液體的進出口流量,確保流量輸出在設備規(guī)定的范圍內,并留意流量控制精度是否符合要求,同時,觀察設備運行時是否有異常運行聲音或振動,若發(fā)現異常,應及時停機檢查,避免問題擴大。
二、制冷系統維護
制冷系統是雙通道直冷機的核心部分,尤為需要注意其維護工作。定期檢查壓縮機的運行狀態(tài),查看壓縮機的工作電流、電壓是否正常,潤滑油的油位、油質是否符合要求。若發(fā)現潤滑油變質或油量不足,應及時更換或添加。對于冷凝器,要定期清理其表面的灰塵和雜物,以保證良好的散熱效果。水冷型冷凝器需檢查冷卻水的流量和溫度,確保冷卻水系統正常運行;風冷型冷凝器則要檢查風扇的運轉情況,保證風扇能正常散熱。膨脹閥作為制冷系統的關鍵部件,需檢查其開度是否合適,是否存在堵塞或泄漏現象。此外,要定期檢查制冷劑的壓力和量,若發(fā)現制冷劑泄漏,應及時查找泄漏點并進行維修,補充制冷劑時需按照設備要求的型號和量進行添加。
三、加熱系統維護
加熱系統的正常運行有助于直冷機在低溫環(huán)境下的工作。檢查加熱元件是否完好,如加熱功率是否符合設備要求,要確保加熱元件的工作狀態(tài)良好。查看加熱控制系統的參數設置是否正確。定期對加熱系統的電路進行檢查,確保電線連接牢固,無松動或老化現象,避免因電路問題導致加熱系統故障。
四、循環(huán)系統維護
循環(huán)系統的正常運行是保證直冷機溫度均勻性和穩(wěn)定性的關鍵。檢查循環(huán)泵的運轉情況,查看泵的流量和壓力是否符合要求。定期清理循環(huán)管路中的雜質和污垢,防止管路堵塞,影響循環(huán)效果。檢查管路的連接部位是否有泄漏現象,如接口處是否有液體滲出,若發(fā)現泄漏,應及時更換密封件。對于循環(huán)系統中的過濾器,要定期清洗或更換,以保證循環(huán)介質的清潔度。
雙通道直冷機的維護與保養(yǎng)是一項系統而細致的工作,只有做好這些維護與保養(yǎng)工作,才能確保直冷機的穩(wěn)定運行,延長設備的使用壽命,提高生產效率。

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一、明確應用需求與溫度范圍
先需清晰界定設備的應用場景。不同行業(yè)對雙通道水冷機的需求有差異,其溫控要求各不相同。以新能源電池測試為例,可能需要在-40℃至100℃的溫度范圍內進行準確控溫。因此,選購前須明確設備所需的溫度范圍,確保水冷機能滿足實際應用的溫度要求。同時,要考慮溫度控制精度,這直接關系到測試或生產的準確性。
二、關注流量與壓力控制能力
流量和壓力是雙通道水冷機的重要參數。流量輸出范圍應根據具體應用需求選擇,在一些場景中,流量輸出可能需要在合理范圍之內,且流量控制精度可調。壓力控制方面,要確保水冷機能夠提供穩(wěn)定的壓力。此外,還需關注系統是否具備單獨控制流量和壓力的能力,有些設備可以單獨控制流量或壓力,若需要同時控制,則需確認是否采用定制方案。
三、考量制冷與加熱功率
制冷和加熱功率的選擇需與實際需求相匹配。以低溫系列的設備為例,不同型號的制冷量和加熱功率差異較大,在選購時,需根據設備的熱負荷計算所需的制冷和加熱功率,確保水冷機在不同溫度點都能提供足夠的冷量和熱量,以維持系統的溫度穩(wěn)定。
四、重視系統的密閉性與安全性
全密閉系統是雙通道水冷機的重要優(yōu)勢之一,能夠避免導熱介質與外界空氣接觸,防止水汽凝結和介質氧化,從而延長導熱介質的使用周期。在選購時,需確認設備是否為全密閉系統,以及是否具備相應的安全保護功能。系統應具有自我診斷功能、冷凍機過載保護、高壓壓力開關、過載繼電器、熱保護裝置、低液位保護、高溫保護、傳感器故障保護等多種安全保障功能。這些安全措施能夠確保設備在運行過程中的安全性,減少故障發(fā)生的概率。
五、關注設備的兼容性與通信功能
隨著工業(yè)自動化的發(fā)展,設備的兼容性和通信功能日益重要。雙通道水冷機應具備良好的通信接口。這些通信功能能夠實現設備與其他系統的遠程監(jiān)控和數據傳輸,方便進行集中管理和遠程操作。此外,還需考慮設備是否支持與其他測試平臺的靈活連接,以滿足不同的應用需求。
六、考慮設備的結構與材質
設備的外殼材質和內部結構也會影響其性能和使用周期。外殼材質一般采用冷軋板噴塑,這種材質具有較好的耐腐蝕性和耐磨性。內部管路材質如不銹鋼等,能夠保證介質的純凈度和系統的穩(wěn)定性。在選購時,需關注設備的結構設計是否合理,是否便于安裝、維護和檢修。
選購雙通道水冷機需要綜合考慮應用需求、溫度范圍、流量壓力控制、制冷加熱功率、系統密閉性、安全性、兼容性、通信功能、結構材質等多個方面。只有考量這些因素,才能選購到適合自身需求的設備,確保設備的穩(wěn)定運行和生產效率的提升。

適用范圍 LTZ系列低溫冷凍機采用變頻技術,節(jié)約能耗,控溫范圍:-115℃~30℃,控溫精度:±0.5℃。變頻壓縮機組通過內置變頻裝置隨時根據??冷熱負荷需求改變直流壓縮機的運?轉速,從?避免壓縮機與電加熱滿負荷對抗,保持機組穩(wěn)定的?作狀態(tài),達到節(jié)能效果。 產品特點 Product Features 產品參數 Product Param…
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適用范圍 氫氣經過內高壓換熱器,制冷系統通過制冷劑直接與氫氣換熱,實現高效換熱控溫;設備本體采用正壓防爆系統,正壓系統內置有恒溫器,確保系統環(huán)境維持在常溫。相對于傳統防凍液或其他流體與氫氣換熱,本設備采用介質為制冷系統制冷劑(相變熱),能效更高;內置有可再生干燥機,確保正壓系統內部干燥,沒有冷凝水;可與耐高壓微通道換熱器或殼管換熱器(9…
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適用范圍 特別適合生產過程中2℃~5℃DI水需求的應用場景。 產品特點 Product Features 產品參數 Product Parameter 行業(yè)應用 APPLICATION 新材料|特氣生產控溫解決方案 新材料,作為新近發(fā)展或正在發(fā)展的具有優(yōu)異性能的結構材料和有特殊性質的功能材料,其研發(fā)和生產過程對溫度控制有著…
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LTZ變頻帶加熱系列,產品支持加熱功能,控溫范圍: -40℃~+90℃,控溫精度:±0.3℃。變頻機組采?先進的變頻技術,精確控制壓縮和?機運?轉速,通過電?膨脹閥智能調節(jié),快速制冷。
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