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FLTZ -25℃～90℃

  • 溫度范圍 -25℃～90℃
  • 載冷劑硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
  • 膨脹罐容積10L~35L
  • 內(nèi)循環(huán)液容積4L~20L
  • 制冷劑R404A
  • 控溫精度±0.1℃

半導(dǎo)體溫控裝置Chiller 主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制，產(chǎn)品有流體氟化液控溫（最低-100度)、氣體冷熱快速溫變、快速溫變卡盤、低溫氣體制冷機(jī)（-120度）、直冷型制冷機(jī)組（-150度）等。公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。

chiller 的排吸氣溫度（壓力）、冷凝溫度、冷卻水溫度（壓力）、進(jìn)出液體（氣體）溫度（壓力）、用電功率、各部件電流、電壓、水箱液位等重要信息均通過傳感器接入控制系統(tǒng)進(jìn)行全面管理監(jiān)控記錄。

40℃以內(nèi)加熱方式采用壓縮機(jī)熱氣加熱。
chiller 循環(huán)系統(tǒng)采用全密閉設(shè)計、循環(huán)泵采用磁力驅(qū)動泵。
Chiller 100%氦檢測，100%安規(guī)檢測，確保系統(tǒng)安全可靠。
chiller 100%經(jīng)過24小時連續(xù)運(yùn)行拷機(jī)。
冷凝器 微通道換熱器（風(fēng)冷）板式換熱器（水冷）
蒸發(fā)器：板式換熱器
節(jié)流裝置：電子膨脹閥
控制系統(tǒng)：PLC可編程控制器
通訊：RS485接口Modbus RTU協(xié)議
以太網(wǎng)接口 TCP/IP協(xié)議
操作界面：無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示\EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出
循環(huán)系統(tǒng)：整個系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng)，低溫不吸收空氣中水份，不揮發(fā)導(dǎo)熱介質(zhì)，低溫自動補(bǔ)充導(dǎo)熱介質(zhì)進(jìn)入循環(huán)系統(tǒng)。
外殼材質(zhì)：冷軋板噴塑RAL7035
管路內(nèi)部含：不銹鋼SUS304、銅、陶瓷、碳化硅、硅酮密封膠、PTFE

型號FLTZ-202
FLTZ-202W		FLTZ-203
FLTZ-203W		FLTZ-204
FLTZ-204W		FLTZ-206
FLTZ-206W		FLTZ-208
FLTZ-208W		FLTZ-210
FLTZ-210W		FLTZ-215
FLTZ-215W
溫度范圍 -25℃～90℃
控溫精度±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
流量 MAX10～25L/min15～45L/min25～75L/min
制冷量at-15℃2kW3kW3.8kW6kW7.6kW10kW15kW
內(nèi)循環(huán)液容積4L5L6L8L10L12L20L
膨脹罐容積10L10L15L15L20L25L35L
制冷劑R404A
載冷劑硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
進(jìn)出接口Rc1/2Rc1/2Rc3/4Rc3/4Rc3/4Rc1Rc1
冷卻水接口Rc1/2Rc1/2Rc3/4Rc3/4Rc1Rc1Rc1 1/8
冷卻水流量at20℃1.2m3/H1.6m3/H2.6m3/H3.6m3/H5.5m3/H7m3/H10.2m3/H
?藝過程溫度控制可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度（動態(tài)控溫）
外形尺寸 cm90*45*11390*45*11390*45*113105*50*140105*50*140108*60*150108*60*150

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FLTZ -45℃~90℃

  • 控溫精度±0.1℃
  • 溫度范圍 -45℃～90℃
  • 內(nèi)循環(huán)液容積4L~20L
  • 膨脹罐容積10L~35L
  • 制冷劑R404A
  • 載冷劑硅油、氟化液、乙醇水溶液等
型號FLTZ-402
FLTZ-402W		FLTZ-403
FLTZ-403W		FLTZ-404
FLTZ-404W		FLTZ-406
FLTZ-406W		FLTZ-408
FLTZ-408W		FLTZ-410
FLTZ-410W		FLTZ-415
FLTZ-415W
溫度范圍 -45℃～90℃
控溫精度±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
流量/壓力 MAX10～25L/min  5bar15～45L/min 5bar 25～75L/min 5bar
制熱采用壓縮機(jī)制熱，防止冷凝器結(jié)霜技術(shù)
制冷量at-35℃1kW1.4kW1.8kW2.5kW3.3kW5kW8kW
內(nèi)循環(huán)液容積4L5L6L8L10L12L20L
膨脹罐容積10L10L15L15L20L25L35L
制冷劑R404A
載冷劑硅油、氟化液、乙醇水溶液等
進(jìn)出接口尺寸Rc1/2Rc1/2Rc3/4Rc3/4Rc3/4Rc1Rc1
冷卻水接口Rc1/2Rc3/4Rc3/4Rc1Rc1Rc1Rc1 1/8
冷卻水流量at20℃1.5m3/H2.4m3/H3.5m3/H5m3/H5.5m3/H6m3/H8m3/H
?藝過程溫度控制可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度（動態(tài)控溫）
外形尺寸 cm90*45*11390*45*11390*45*113105*50*140105*50*140108*60*150108*60*150

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FLTZ -80℃~90℃

  • 溫度范圍 -80℃～+90℃
  • 內(nèi)循環(huán)液容積4L~10L
  • 膨脹罐容積10L~20L
  • 導(dǎo)熱介質(zhì)氟化液
  • 加熱功率2kW~3.5kW
  • 控溫精度±0.1℃

型號 FLTZ-803W FLTZ-805W FLTZ-806W FLTZ-808W FLTZ-810W
溫度范圍 ?-80℃～+90℃
控溫精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
流量/壓力 MAX 7～25L/min? 5bar 12～45L/min 6bar
制冷量at-70℃ 0.6kW 1kW 1.5kW 2kW 3kW
加熱功率 2kW 2kW 2kW 3.5kW 3.5kW
內(nèi)循環(huán)液容積 4L 5L 6L 8L 10L
膨脹罐容積 10L 10L 15L 15L 20L
導(dǎo)熱介質(zhì) 氟化液
進(jìn)出接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4
冷卻水接口 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 Rc1
冷卻水a(chǎn)t20℃ 1.8m3/H 2.5m3/H 3m3/H 5m3/H 6m3/H
斷路器 25A 25A 32A 40A 50A
?藝過程溫度控制 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度（動態(tài)控溫）

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FLTZ 5℃~90℃

  • 溫度范圍5℃~90℃
  • 內(nèi)循環(huán)液容積4L~20L
  • 膨脹罐容積10L~35L
  • 制冷劑R410A
  • 載冷劑硅油、氟化液、乙二醇水溶液、純凈水等
  • 控溫精度±0.1℃

半導(dǎo)體溫控裝置Chiller 主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制，產(chǎn)品有流體氟化液控溫（最低-100度)、氣體冷熱快速溫變、快速溫變卡盤、低溫氣體制冷機(jī)（-120度）、直冷型制冷機(jī)組（-150度）等。公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。

型號FLTZ-002
FLTZ-002W		FLTZ-003
FLTZ-003W		FLTZ-004
FLTZ-004W		FLTZ-006
FLTZ-006W		FLTZ-008
FLTZ-008W		FLTZ-010
FLTZ-010W		FLTZ-015
FLTZ-015W
溫度范圍5℃～90℃
控溫精度±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
制冷量at10℃6kW8kW10kW15kW20kW25kW40kW
內(nèi)循環(huán)液容積4L5L6L8L10L12L20L
膨脹罐容積10L10L15L15L20L25L35L
制冷劑R410A
載冷劑硅油、氟化液、乙二醇水溶液、純凈水等（純凈水溫度需要控制10℃以上）
進(jìn)出接口Rc1/2Rc1/2Rc3/4Rc3/4Rc3/4Rc1Rc1
冷卻水口Rc1/2Rc1/2Rc3/4Rc1Rc1Rc1Rc1 1/8
冷卻水流量at20℃1.5m3/h2m3/h2.5m3/h4m3/h4.5m3/h5.6m3/h9m3/h
?藝過程溫度控制可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度（動態(tài)控溫）
外形尺寸 cm97*40*10897*40*10897*40*108105*43*140105*43*140108*60*150108*60*150

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