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　　一、循環(huán)風(fēng)控溫裝置應(yīng)用場(chǎng)景

　　1、可靠性測(cè)試

　　循環(huán)風(fēng)控溫裝置可模擬嚴(yán)苛溫度環(huán)境，對(duì)半導(dǎo)體器件進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間的高低溫循環(huán)測(cè)試，評(píng)估其在嚴(yán)苛條件下的性能衰減、失效機(jī)制及壽命預(yù)期。例如，通過模擬高溫老化或低溫啟動(dòng)場(chǎng)景，驗(yàn)證芯片的穩(wěn)定性和抗熱老化性。

　　2、熱應(yīng)力測(cè)試

　　半導(dǎo)體器件在溫度快速變化時(shí)易因熱膨脹系數(shù)差異導(dǎo)致封裝開裂或分層。此類裝置通過快速溫度變化，模擬實(shí)際使用中的溫度沖擊，檢測(cè)材料的耐熱應(yīng)力性能。

　　3、性能驗(yàn)證與工藝控制

　　電氣性能測(cè)試：在不同溫度下測(cè)量電阻、電容、漏電流等參數(shù)，確保器件在全工作溫度范圍內(nèi)滿足設(shè)計(jì)要求。

　　制程溫控：應(yīng)用于半導(dǎo)體擴(kuò)散爐、反應(yīng)腔室等設(shè)備的溫度控制，保障化學(xué)氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）等工藝的穩(wěn)定性。

　　4、材料與封裝測(cè)試

　　對(duì)半導(dǎo)體材料或封裝技術(shù)進(jìn)行溫度適應(yīng)性測(cè)試，例如評(píng)估封裝材料的熱穩(wěn)定性及低溫收縮性能，加速材料篩選和工藝優(yōu)化。

　　二、循環(huán)風(fēng)控溫裝置技術(shù)特點(diǎn)與創(chuàng)新

　　1、寬溫度范圍與高精度控溫

　　典型設(shè)備的溫度覆蓋范圍可達(dá)-105℃至+125℃，部分型號(hào)甚至支持-80℃至+125℃的超低溫應(yīng)用，控溫精度高達(dá)±0.05℃。

　　采用PID算法、預(yù)測(cè)控制及自適應(yīng)技術(shù)，結(jié)合變頻調(diào)節(jié)，顯著提升響應(yīng)速度和穩(wěn)定性。

　　2、快速溫度變化技術(shù)

　　通過熱交換技術(shù)，實(shí)現(xiàn)溫度快速升降，縮短測(cè)試周期。

　　模塊化設(shè)計(jì)支持靈活擴(kuò)展，滿足不同工藝需求。

　　三、循環(huán)風(fēng)控溫裝置實(shí)際應(yīng)用案例

　　1、晶圓制造工藝

　　冠亞恒溫FLTZ系列為刻蝕（Etch）、CVD/PVD工藝設(shè)計(jì)，準(zhǔn)確調(diào)控反應(yīng)腔體溫度至±0.1℃，提升良率。

　　2、光模塊測(cè)試

　　光模塊熱電溫控系統(tǒng)模擬-40℃至+100℃環(huán)境，驗(yàn)證5G光模塊在嚴(yán)苛溫度下的性能穩(wěn)定性。

　　3、封裝測(cè)試與設(shè)備維護(hù)

　　冠亞恒溫的高低溫測(cè)試機(jī)通過密閉循環(huán)動(dòng)態(tài)控制技術(shù)，優(yōu)化半導(dǎo)體封裝材料的熱匹配性，并用于設(shè)備校準(zhǔn)。

循環(huán)風(fēng)控溫裝置通過準(zhǔn)確控溫、快速響應(yīng)及可靠性驗(yàn)證、工藝優(yōu)化及材料研發(fā)中的應(yīng)用，不僅提升了產(chǎn)品質(zhì)量，還更注重多場(chǎng)景適配能力。

LTZ -45℃~20℃

LTZ -45℃~20℃

介質(zhì)溫度范圍-45℃ ～10℃制冷劑R404A膨脹罐容積50L~400L電源AC380V 50HZ14kW~270kW重量800kg~5000kg制冷量AT-35℃6KW/5160Kcal/h~180KW/154800Kcal/h

詳細(xì)信息
LTZ -60℃～-30℃

LTZ -60℃～-30℃

介質(zhì)溫度范圍-60℃ ～-10℃制冷劑R404A/R23膨脹罐容積100L~750L電源AC380V 50HZ16kW~300kW重量800kg~5600kg制冷量AT-55℃6KW/5160Kcal/h~180KW/154800Kcal/h

詳細(xì)信息
LTZ -80℃～-50℃

LTZ -80℃～-50℃

介質(zhì)溫度范圍-80℃ ～-30℃制冷劑R404A/R23或R508B膨脹罐容積100L~750L電源AC380V 50HZ24kW~588kW重量950kg~8000kg制冷量AT-75℃4KW/3440Kcal/h~180KW/154800Kcal/h

詳細(xì)信息
LT定頻系列

LT定頻系列

介質(zhì)溫度范圍-110℃ ～-50℃制冷劑R404A/R23/R14膨脹罐容積50L~400L電源AC380V 50HZ16kW~768kW

詳細(xì)信息
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LTZ -45℃~20℃

  • 介質(zhì)溫度范圍-45℃ ～20℃
  • 制冷劑R404A
  • 電源AC380V 50HZ7.5kW~38kW
  • 膨脹罐容積50L~400L
  • 重量800kg~5000kg
  • 制冷量AT-35℃6KW/5160Kcal/h~180KW/154800Kcal/h

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LTZ -60℃～-30℃

  • 介質(zhì)溫度范圍-60℃ ～-10℃
  • 制冷劑R404A/R23
  • 膨脹罐容積100L~750L
  • 電源AC380V 50HZ16kW~300kW
  • 重量800kg~5600kg
  • 制冷量AT-55℃6KW/5160Kcal/h~180KW/154800Kcal/h

型號(hào) LN-6W LN-10W LN-15W LN-20W LN-30W LN-40W LN-60W LN-90W LN-120W
溫度范圍 -60°C~ -10°C
制冷量
At -55°C		 6kW 10kW 15kW 20kW 30kW 40kW 60kW 90kW 120kW
5160
Kcal/h		 8600
Kcal/h		 12900
Kcal/h		 17200
Kcal/h		 25800
Kcal/h		 344000
Kcal/h		 51600
Kcal/h		 77400
Kcal/h		 103200
Kcal/h
循環(huán)泵 6.6m3/h 9m3/h 15m3/h 15m3/h 25m3/h 25m3/h 25m3/h ? ?
1.5bar 1.5bar 1.5bar 2.5bar 2.5bar 2.5bar 2.5bar ? ?
進(jìn)出液尺寸 DN-25
PN-10		 DN-32
PN-10		 DN-40
PN-10		 DN-40
PN-10		 DN-50
PN-10		 DN-50
PN-10		 DN-50
PN-10		 DN-65
PN-10		 DN-65
PN-10
冷卻水 30度 10m3/h
DN40		 14m3/h
DN50		 20m3/h
DN65		 25m3/h
DN65		 30m3/h
DN80		 35m3/h
DN80		 50m3/h
DN100		 70m3/h
DN125		 90m3/h
DN125
膨脹罐（標(biāo)配） 100L 175L 250L 350L 500L 600L 750L ? ?
壓縮機(jī) 艾默生谷輪渦旋壓縮機(jī)、卡萊爾、都凌半封閉壓縮機(jī) 卡萊爾、漢鐘、復(fù)盛、比澤爾螺桿壓縮機(jī)
操作面板 7寸彩色觸摸屏顯示輸入、 溫度曲線記錄
控制系統(tǒng) PLC及模塊
全密閉系統(tǒng) 整個(gè)系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng)，低溫不吸收空氣中水份，系統(tǒng)在運(yùn)行中不會(huì)因?yàn)楦邷厥箟毫ι仙?，低溫自?dòng)補(bǔ)充導(dǎo)熱介質(zhì)。
循環(huán)泵 無錫冠亞磁力驅(qū)動(dòng)泵
蒸發(fā)器 板式換熱器
節(jié)流方式 電子膨脹閥
冷凝器 套管式水冷冷凝器/列管式水冷冷凝器
中間換熱器 高力板式換熱器/沈氏套管換熱器
制冷附件 油分離器、干燥過濾器、膨脹閥、視鏡等均采用艾默生/丹佛斯等品牌
電氣 交流接觸器、中間繼電器、斷路器、熱繼電器等選擇施耐德/ABB/西門子品牌
制冷劑 R404A /R23
載冷劑 無腐蝕性液體, 乙醇水溶液、導(dǎo)熱油等
安全保護(hù) 高壓保護(hù)、斷水保護(hù)、有過電流保護(hù)、漏電保護(hù)、相續(xù)與斷相保護(hù)、高溫保護(hù)、傳感器故障、低液位報(bào)警等多重安全保護(hù)
液位指示 采用玻璃液位指示
管路材質(zhì) 膨脹罐、蓄冷罐、循環(huán)管路均采用 SUS304
外殼材質(zhì) 槽鋼+方管+冷軋板封板?? 噴塑7035
外形尺寸cm 100*150
*185		 100*150
*185		 200*145
*205		 250*145
*225		 250*145
*225		 350*160
*245		 350*160
*245		 400*160
*245		 500*200
*260
電源
380V 50HZ		 16kW 20kW 32kW 36kW 64kW 93kW 122kW 152kW 200kW
噪音 75分貝以內(nèi) 80分貝以內(nèi) 90分貝以內(nèi)
重量kg 850 1000 1200 1450 2000 2400 3000 3600 4200
選配 選配外置觸摸屏控制器，通信線距離10m
選配 選配防爆型觸摸屏控制系統(tǒng)（ExdellBT4),通信線距離15m

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LTZ -80℃～-50℃

  • 介質(zhì)溫度范圍-80℃ ～-30℃
  • 制冷劑R404A/R23或R508B
  • 膨脹罐容積100L~750L
  • 電源AC380V 50HZ24kW~588kW
  • 重量950kg~8000kg
  • 制冷量AT-75℃4KW/3440Kcal/h~180KW/154800Kcal/h

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LT定頻系列

  • 介質(zhì)溫度范圍-110℃ ～-50℃
  • 制冷劑R404A/R23/R14
  • 膨脹罐容積50L~400L
  • 電源AC380V 50HZ16kW~768kW
  • 重量950kg~9000kg
  • 制冷量AT-105℃2KW/1720Kcal/h~120KW/103200Kcal/h

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LTZ -25℃~5℃

  • 介質(zhì)溫度范圍-25℃ ～5℃
  • 制冷劑R404A/R507C
  • 膨脹罐容積100L~750L
  • 電源AC380V 50HZ12kW~247kW
  • 重量800kg~5000kg
  • 制冷量AT-20℃12KW/10320Kcal/h~360KW/309600Kcal/h

低溫冷阱，又稱為“低溫反應(yīng)浴”、“低溫恒溫槽”，是響應(yīng)實(shí)驗(yàn)室及中試反應(yīng)新需求而開發(fā)的一種新型低溫設(shè)備，該類設(shè)備可代替干冰和液氮做低溫反應(yīng)，溫度可在有效范圍內(nèi)任意設(shè)定及控制，如生物醫(yī)學(xué)、實(shí)驗(yàn)研究等需要高精度溫度提供的冷源。也廣泛應(yīng)用在醫(yī)院科研生物酶等方面實(shí)驗(yàn)和鑒定工作中。

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直冷式冷凍機(jī)

  • 介質(zhì)溫度范圍-110℃ ～-150℃
  • 制冷劑R404A/R508B/R14/R50混合制冷劑
  • 壓縮機(jī)都凌/拉萊爾
  • 油分離器艾默生
  • 重量350kg~950kg
  • 蒸發(fā)器面積2㎡~7.8㎡
型號(hào)SLJ-3WSLJ-4WSLJ-6WSLJ-11W
溫度范圍-150℃～-110℃
制冷AT-120℃3kW4kW6kW11kW
制冷AT-135℃2.5kW3.3kW5kW9kW
制冷劑LNEYA -150混合制冷劑
尺寸 cm75*75*17575*75*17595*100*205130*200*350
斷路器40A55A65A100A

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